Mikrosystemtechnik und Fotolithografie

Die Fertigung mikrostrukturierter Bauteile ist teuer und langwierig, wenn sie auf dem Einsatz von Photomasken beruht. Maskenlose Verfahren erlauben im Gegensatz dazu eine wesentlich schnellere, kostengünstigere und dadurch flexiblere Herstellung.

Wir bieten unseren Kunden die Prototypenfertigung von mikrostrukturierten Bauteilen wie Mikrokontaktstempeln, mikrofluidischen Kanälen und planaren Mikroelektroden mittels maskenloser Photolithographie und nach individueller Designvorlage. Auch häufige Anpassungen der Designvorlage können schnell, problemlos und kostengünstig umgesetzt werden.

Leistungsangebote

Mikrosystemtechnik - Photolithographie | Fertigung von Chips
© Fraunhofer IZI-BB
Schnelle Prototypenfertigung mikrofluidischer Systeme

Unser Methodenspektrum beinhaltet die

  • Reinigung
  • Metallisierung
  • Belackung
  • Belichtung
  • Entwicklung
  • Nassätzen
  • und Passivierung

von (Glas-)substraten.

 

Das Spektrum der von uns eingesetzten Materialien beinhaltet

  • Für Mikrofluidische Kanäle:
    • Glas
    • PDMS
    • PMMA
    • Teflon
    • SU-8
  • Für Planare Mikroelektroden:
    • Gold
    • Chrom
    • ITO